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電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。

近幾年來，智研數據研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內市場。