氧氣、氮?dú)?/a>、氬氣、氫氣、乙炔、丙烷等高純氣體壓力管道安裝、設(shè)計(jì)。
一、預(yù)制工作(在簡(jiǎn)易潔凈室)在現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔凈氣的地方，在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn)，于早、中、晚用O2檢視器檢查O2的濃度。1、 點(diǎn)焊點(diǎn)焊使用TIG焊接，點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。CAJON的焊機(jī)必需保證管子確實(shí)牢固，從完成的觀點(diǎn)來(lái)看，最好不要使用手動(dòng)的TIG焊接，因此點(diǎn)焊被省略；
2、沖吹氣體(Back seal gas)使用氬氣，露點(diǎn)-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量為零。
3、沖吹用管套連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路
4、預(yù)制程序?qū)⒐ぷ鞴苈穬啥颂咨瞎芴祝B接沖吹氣體及閥氬氣沖吹(預(yù)先沖吹1分鐘以上)點(diǎn)焊,氬氣沖吹,焊接(自動(dòng)焊接),氬氣沖吹風(fēng)(收尾沖吹1分鐘以上)
5、裝封完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用潔凈的塑料紙?jiān)谀┒税鼉蓪�。如果末端的閥已經(jīng)連接好了，把閥也用塑料紙裹起來(lái)。
二、現(xiàn)場(chǎng)工作規(guī)定1、攜入材料必須置于特定的貯藏間，在工地現(xiàn)場(chǎng)或在材料間要提供暫時(shí)性的簡(jiǎn)易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時(shí)，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開(kāi)。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開(kāi)直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開(kāi)，并且不要將材料直接放在地上。
2、切管切管時(shí)，使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專門為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí)，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi)。
3、倒角原則上，在使用倒角機(jī) ( TUBE SIZE用) 或銼刀 ( PIPE SIZE用) 時(shí)，小心地移開(kāi)切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松馳或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí)，這種管路是不合規(guī)定，必須重新切割及配置。當(dāng)?shù)菇菚r(shí)，在管的另一端必須用高潔凈度的氮?dú)鉀_吹(氮?dú)庖?jīng)0.02um的過(guò)濾器過(guò)濾)。
4、N2吹掃將管內(nèi)的微粒沖吹出來(lái)。
5、現(xiàn)場(chǎng)焊接現(xiàn)埸焊接的人員必須經(jīng)過(guò)高潔凈度配管技術(shù)培訓(xùn)。即使焊接結(jié)束，也要維持小量的N2或Ar在管內(nèi)沖吹以防止空氣流入管內(nèi)。無(wú)論如何也要想辦法把管內(nèi)的空氣及微粒趕出來(lái)。
6、焊機(jī)電源供給電源的電壓的變動(dòng)，對(duì)于管路焊接的品質(zhì)影響甚巨。使用自動(dòng)焊接機(jī)的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動(dòng)AC 100V±10%，AC 200V±10%，在焊接進(jìn)行時(shí)電壓警報(bào)器一直監(jiān)視著電壓，如果電壓超過(guò)可容許的范圍時(shí)，警報(bào)器就會(huì)發(fā)出聲音。
7、工作后的清潔檢視切割機(jī)的潔凈度，保持機(jī)具不受油污，如果仍然看得見(jiàn)有油污或切割的碎屑?xì)堄�，用GN2沖吹。使用的N2必須經(jīng)-80℃或更低的露點(diǎn)，經(jīng)0.02um的過(guò)濾器干燥，用肉眼檢查沒(méi)有任何的水汽。
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